真空系统开关机.pdf

真空系统开关机 对于质谱仪而言，真空系统是价格昂贵的组成部分。维护好质谱 的真空系统对工作安全和降低使用成本是非常重要的。 打开真空系统 1、 检查： （1） 机械泵的温度小于 50 摄氏度，而高于 0 摄氏度； （2） 机械泵油色泽清亮，无浑浊、不透明和分层现象； （3） 确保分子泵的温度小于 35 度，高于 0 摄氏度； （4） 如果是水冷大泵，应打开分子泵循环水，并且无漏水，冷却 水的流速正常。 启动前级泵： 2、 （1） 逐个打开机械泵，听每台机械泵启动的声音，无异常； （2） 打开前级真空计。 3、 启动分子泵： （1） 确保前级规气压小于 2 Torr（对于非复合式分子泵应小于 20Pa）； （2） 逐个启动分子泵，听每台分子泵启动的声音，无异常； （3） 分子泵在 5 分钟内达到全速，否则需要停机； （4） 在分子泵达到全速后方可启动高真空规。 关闭真空系统 关闭分子泵： 1、 （1） 关闭真空系统内的其他仪器设备，温度小于 35 度； （2） 关闭高真空规； （3） 关闭分子泵。 关闭机械泵： 2、 （1） 确保分子泵转速小于 30%，或已经关闭电源超过 10 分钟； （2） 关闭前级规； （3） 关闭机械泵； （4） 关闭循环水 关机检查： 3、 （1） 机械泵油色泽清亮，无浑浊、不透明和分层现象； （2） 循环水清亮，无浑浊；