附件1：中国科学技术大学先进技术研究院技术服务收费标准（芯片测试平台）.pdf

中国科学技术大学先进技术研究院 技术服务收费标准（初稿） 芯片测试平台 序号 测试名称 设备型号 单 位 单价（元） 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 备注： SEM-场发射 SEM-钨灯丝 电镜制样镀膜 离子束切割 3D数字显微镜 OM 光学显微镜 EDS EBSD 非定点研磨 截面 定点研磨 截面 冷埋 Delayer 去层 (铜制程) Delayer 去层 (铝制程) 去SUb层 Decap 一般封装 Decap 特殊封装 取Die（BGA/COB/PCB） 取die（一般封装） P/N阱染色 去除Bump 弹坑实验 晶圆射频探针测试 网络分析仪 示波器 膜厚仪 工程服务费 ZEISS Gemini-500 ZEISS EVO-18 Leica EM ACE600 Leica EM TIC3X ZEISS Smartzoom 5 / OXFORD X-Max OXFORD C NANO ALLIED ALLIED / / / / / / / / / / / MPI / / / / 小时 小时 颗 小时 小时 小时 小时 小时 颗 颗 颗 层 层 层 颗 颗 颗 颗 颗 颗 点 小时 小时 小时 小时 小时 1000 500 50 200 400 200 1000 1500 700 1500 200 1500 400 200 100 200 200 100 300 100 200 1000 300 300 200 500 1、以小时为计费标准的，最小计费单元为15Min，不足15Min按15Min收费，大于15Min小于30Min按30Min收费，以此类推； 2、实验过程中使用的耗材按成本单独计算； 3、表中价格为对外收费标准，对内价格享受优惠。