国家纳米科学中心纳米加工技术实验室收费标准与收费办法（暂行）.pdf

国家纳米科学中心 纳米加工技术实验室收费标准与收费办法 纳米加工技术实验室收费标准与收费办法（暂行） 实验室收费标准与收费办法（暂行） 1． 重点合作用户(长期在纳米加工技术实验室加工样品、合作研究，且知识产权共享)， 加工费用享有特别折扣； 2． 预付加工费用且在研究成果中致谢国家纳米科学中心纳米加工技术实验室，给予优 惠: 一次预付 10 万以上 9 折， 20 万以上 8 折，30 万以上 7 折； 3． 普通用户，按收费标准收费； 4． 付费方式：提供有效帐号，每季度按实际机时收取费用。 国家纳米科学中心纳米加工技术实验室 国家纳米科学中心纳米加工技术实验室 设备收费标准 设备收费标准(暂行 收费标准 暂行) 暂行 仪器 CEE 匀胶机 收费标准 说明 200 元/片（6 吋） 此收费标准只针对单独涂胶工艺； 100 元/片（4 吋） 特殊光刻胶收费另议。 60 元/片（其他） Vistec EBPG5000+电子束曝光 1300 元/小时 系统 MA6 亚微米紫外对准系统 包括涂胶、热板、显影台、显微镜； 30 分钟为基本时间单位。 800 元/小时 自备光刻版； 包括涂胶,热板,显影台,显微镜； 30 分钟为基本时间单位。 Sentech SI 500 刻蚀系统 800 元/小时 15 分钟为基本时间单位； 特殊深度、未知和特殊工艺价格另议。 Plasmalab 100 ICP 180 刻蚀系 800 元/小时 统 15 分钟为基本时间单位； 特殊深度、未知和特殊工艺价格另议; 低温工艺: 开机费 200 元/次,液氮 300 元/ 次。 等离子去胶机 300 元/小时 15 分钟为基本时间单位。 快速合金炉 300 元/小时 30 分钟为基本时间单位。 扫描电镜 500 元/小时 30 分钟为基本时间单位。 光谱椭偏仪 30 元/点 建模价格另议。 其它测量设备（台阶仪、半导体 150 元/小时 15 分钟为基本时间单位； 测试仪） 特殊条件，价格另议。 电子束蒸发 800 元/小时 30 分钟为基本单位； 材料费：厚度<50nm，超过部分 30 元 /10nm，贵金属价格另议。 Lab18 磁控溅射设备 800 元/次 普通金属<50nm，超过部分 10 元/10nm， 贵金属另议。 SI 500D ICP-CVD 800 元/小时 DISCO 划片机 500 元/小时 30 分钟为基本单位； 超厚膜根据沉积时间，清洗费 200 元/次。 换刀 200 元/次； 30 分钟为基本单位； 1 小时内客户可以自由选择按刀（10 刀起） 计费或按时间计费。