中国科学院半导体研究所2023年部门预算.pdf
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中国科学院半导体研究所 2023 年度部门预算 目 录 一、中国科学院半导体研究所基本情况 ................................. 1 （一）单位职责 .................................................................... 1 （二）机构设置 .................................................................... 2 二、中国科学院半导体研究所 2023 年单位预算 ................... 3 收支总表 ................................................................................ 4 关于收支总表的说明 ............................................................ 5 收入总表 ................................................................................ 6 关于收入总表的说明 ............................................................ 7 支出总表 ................................................................................ 8 关于部门支出总表的说明 .................................................... 9 财政拨款收支总表 .............................................................. 10 关于财政拨款收支总表的说明 .......................................... 11 一般公共预算支出表 .......................................................... 12 关于一般公共预算支出表的说明 ...................................... 13 一般公共预算基本支出表 .................................................. 14 关于一般公共预算基本支出表的说明 .............................. 16 一般公共预算“三公”经费支出表 .................................. 17 关于一般公共预算“三公”经费支出表的说明 .............. 18 政府性基金收支表 .............................................................. 19 国有资本经营预算支出表 .................................................. 20 三、其他事项说明 ................................................................... 21 （一）政府采购情况说明 .................................................. 21 （二）国有资产占有使用情况说明 .................................. 21 （三）预算绩效情况说明 .................................................. 21 四、名词解释............................................................................ 22 （一）收入科目 .................................................................. 22 （二）支出科目 .................................................................. 22 附表：中国科学院半导体研究所项目预算绩效目标表 ....... 24 一、中国科学院半导体研究所基本情况 （一）单位职责 1956 年，在我国十二年科学技术发展远景规划中，半导 体科学技术被列为当时国家新技术四大紧急措施之一。为了 创建中国半导体科学技术的研究发展基地，国家于 1960 年 9 月 6 在北京成立中国科学院半导体研究所（简称“半导体 所”），开启了中国半导体科学技术的发展之路。 半导体所秉承“两个卓越”和“三个推动”的办所理念， 奋斗不息，勇攀高峰，取得了快速发展，研究所现已发展成 为集半导体物理、材料、器件研究及其系统集成应用于一体 的国家级半导体科学技术的综合性研究机构。 半导体所的中长期发展战略目标是：开展与国家发展密 切相关的、世界科技前沿的基础性、前瞻性、战略性科技创 新活动，为发展我国的高新技术提供源源不断的动力；以国 家重大需求为导向，开展前沿基础和应用技术研究，为国家 科技发展提供支撑，并为相关行业的技术进步作出贡献；吸 引、聚集和培养国际一流人才；建立具有国际先进水平的、 开放的实验研究和测试平台，实现科技创新能力的跨越和持 续发展，成为引领我国半导体科学技术发展的火车头。 1 （二）机构设置 半导体所拥有两个国家级研究中心—国家光电子工艺 中心、光电子器件国家工程研究中心；三个国家重点实验室 —半导体超晶格国家重点实验室、集成光电子学国家重点联 合实验室、表面物理国家重点实验室(半导体所区)；两个院 级实验室(中心)—中国科学院半导体材料科学重点实验室和 中国科学院固态光电信息技术重点实验室。此外，还设有半 导体集成技术工程研究中心、光电子研究发展中心、半导体 照明研发中心、高速电路与神经网络实验室、纳米光电子实 验室、光电系统实验室、全固态光源实验室和元器件检测中 心。 半导体所下设科技管理与成果处、高技术发展与质量控 制处、人事教育处、财务资产处、综合办公室（党委办公室、 纪监审办公室）、基建园区处、廊坊分部办公室、离退休办 公室、期刊文献与信息化中心等 9 个职能部门。 2 二、中国科学院半导体研究所 2023 年单位预算 2023 年是研究所新一届领导班子的开局之年，党政领导 班子将密切配合，落实所长任期目标责任制，带领全所上下 进一步聚焦主责主业，狠抓工作落实，牢记国家战略科技力 量的使命和担当，为推进研究所高质量发展凝聚力量。 2023 年研究所主要工作包括：进一步学习贯彻党的二十 大精神，突出学思践悟，做到知行统一；进一步推进国家重 点实验室体系重组工作，落实“基础研究十条”；进一步贯 彻落实中央和院人才工作会议精神，加强人才队伍建设；进 一步推进“青年科技人才推进计划”，加强对青年人才的支 持、培养和激励；进一步拓展发展空间，推动可持续发展； 进一步提升研究生教育水平和培养质量等。 3 收支总表 部门公开表 1 单位：万元 收 项 入 目 支 预算数 一、一般公共预算拨款收入 项 42,059.18 二、外交支出 三、国有资本经营预算拨款 三、教育支出 77,000.00 预算数 四、科学技术支出 五、事业单位经营收入 六、其他收入 目 一、一般公共服务支出 二、政府性基金预算拨款收入 四、事业收入 出 120,221.96 五、文化旅游体育与传媒支出 3,000.00 六、社会保障和就业支出 1,993.92 七、资源勘探工业信息等支出 八、住房保障支出 本年收入合计 122,059.18 本年支出合计 使用非财政拨款结余 结转下年 上年结转 收 1,843.30 124,059.18 35,000.00 37,000.00 入 总 计 159,059.18 支 4 出 总 计 159,059.18 关于收支总表的说明 按照部门预算编制要求，单位所有收入和支出均纳入部 门预算管理。收入包括：一般公共预算拨款收入、事业收入、 其他收入及上年结转。支出包括：科学技术支出、社会保障 和就业支出及住房保障支出。我单位 2023 年收支总预算 159,059.18 万元。 5 收入总表 部门公开表 2 单位：万元 合计 159,059.18 上年结转 37,000.00 一般公共预 算拨款收入 42,059.18 政府性基金 预算拨款收 入 国有资本经 营预算拨款 收入 事业收入 金额 77,000.00 6 其中:教 育收费 事业单位 经营收入 上级补 助收入 附属单位 上缴收入 其他收入 3,000.00 使用非财 政拨款结 余 关于收入总表的说明 2023 年初，我单位收入总计 159,059.18 万元，其中，一 般公共预算拨款收入 42,059.18 万元，占 26.44%；上年结转 37,000 万元，占 23.26%；事业收入 77,000 万元，占 48.41%； 其他收入 3,000 万元，占 1.89%。 7 支出总表 部门公开表 3 单位：万元 科目编码 科目名称 合计 基本支出 项目支出 206 科学技术支出 120,221.96 44,734.35 75,487.61 20602 基础研究 52,169.91 33,000.00 19,169.91 33,000.00 2060201 机构运行 33,000.00 2060203 自然科学基金 6,000.00 6,000.00 2060204 实验室及相关设施 1,250.00 1,250.00 2060206 专项基础科研 6,335.00 6,335.00 2060299 其他基础研究支出 5,584.91 5,584.91 20603 应用研究 53,922.85 20605 科技条件与服务 1,690.00 1,690.00 1,690.00 1,690.00 439.20 439.20 2060503 20608 科技条件专项 科技交流与合作 11,734.35 42,188.50 2060801 国际交流与合作 439.20 439.20 20609 科技重大项目 12,000.00 12,000.00 12,000.00 2060902 重点研发计划 12,000.00 208 社会保障和就业支出 1,993.92 1,993.92 1,993.92 1,993.92 1,329.28 1,329.28 664.64 664.64 20805 2080505 2080506 行政事业单位养老 支出 机关事业单位基本养 老保险缴费支出 机关事业单位职业年 金缴费支出 221 住房保障支出 1,843.30 1,843.30 22102 住房改革支出 1,843.30 1,843.30 2210201 住房公积金 1,250.18 1,250.18 2210202 提租补贴 129.96 129.96 2210203 购房补贴 463.16 463.16 124,059.18 48,571.57 合计 8 75,487.61 上缴上级 事业单位 对下级单位 支出 经营支出 补助支出 关于部门支出总表的说明 2023 年初，我单位支出总计 124,059.18 万元，其中基本 支出 48,571.57 万元，占 39.15%；项目支出 75,487.61 万元， 占 60.85%。 9 财政拨款收支总表 部门公开表 4 单位：万元 收 入 项目 支 预算数 一、本年收入 42,059.18 (一)一般公共预算财政拨款 42,059.18 出 项目 一、本年支出 预算数 44,059.18 (一)一般公共服务支出 (二)政府性基金预算财政拨款 (二)外交支出 (三)国有资本经营预算拨款 (三)教育支出 (四)科学技术支出 二、上年结转 2,000.00 (五)文化旅游体育与传媒支出 (一)一般公共预算财政拨款 2,000.00 (六)社会保障和就业支出 (二)政府性基金预算财政拨款 (七)资源勘探工业信息等支出 (三)国有资本经营预算拨款 (八)住房保障支出 40,221.96 1,993.92 1,843.30 二、结转下年 收 入 总 计 44,059.18 支 出 总 计 10 44,059.18 关于财政拨款收支总表的说明 （一）收入预算 2023 年初，一般公共预算拨款收入预算数为 42,059.18 万元；上年结转 2,000 万元。 （二）支出预算 2023 年初，科学技术支出预算数为 40,221.96 万元；社 会保障和就业支出预算数为 1,993.92 万元；住房保障支出预 算数为 1,843.3 万元。 11 一般公共预算支出表 部门公开表 5 单位：万元 科目编码 科目名称 本年一般公共预算支出 合计 基本支出 206 科学技术支出 38,221.96 20602 基础研究 13,169.91 13,169.91 2060204 实验室及相关设施 1,250.00 1,250.00 2060206 专项基础科研 6,335.00 6,335.00 2060299 其他基础研究支出 5,584.91 5,584.91 20603 应用研究 22,922.85 20605 科技条件与服务 1,690.00 1,690.00 1,690.00 1,690.00 439.20 439.20 439.20 439.20 2060503 20608 2060801 科技条件专项 科技交流与合作 国际交流与合作 11,734.35 项目支出 11,734.35 208 社会保障和就业支出 1,993.92 1,993.92 20805 行政事业单位养老支出 1,993.92 1,993.92 1,329.28 1,329.28 664.64 664.64 2080505 2080506 机关事业单位基本养老保 险缴费支出 机关事业单位职业年金缴 费支出 221 住房保障支出 1,843.30 1,843.30 22102 住房改革支出 1,843.30 1,843.30 2210201 住房公积金 1,250.18 1,250.18 2210202 提租补贴 129.96 129.96 2210203 购房补贴 463.16 463.16 合计 42,059.18 15,571.57 12 26,487.61 11,188.50 26,487.61 关于一般公共预算支出表的说明 2023 年，按照党中央、国务院过“紧日子”要求，厉行 节约办一切事业，压减一般性、非刚性支出，重点压减了公 用经费支出，合理保障了重大支出需求。2023 年初，我单位 一般公共预算支出 42,059.18 万元，其中：基本支出 15,571.57 万元，占 37.02%；项目支出 26,487.61 万元，占 62.98%。 13 一般公共预算基本支出表 部门公开表 6 单位：万元 人员经费 科目编码 科目名称 公用经费 预算数 科目编码 科目名称 日常公用经费 商品和服务支出 2,200.01 科目编码 资本性支出 日常公用经费 301 工资福利支出 12,034.26 302 30101 基本工资 2,402.00 30201 办公费 26.43 31002 办公设备购置 19.70 30102 津贴补贴 3,351.12 30202 印刷费 15.00 31003 专用设备购置 29.00 30103 奖金 30203 咨询费 31005 基础设施建设 30106 伙食补助费 30204 手续费 31006 大型修缮 30107 绩效工资 979.86 30205 水费 36.00 31007 信息网络及软件购置更新 15.00 30108 机关事业单位基本养老保险缴费 2,009.28 30206 电费 50.00 31013 公务用车购置 60.00 30109 职业年金缴费 584.64 30207 邮电费 18.00 31019 其他交通工具购置 30110 职工基本医疗保险缴费 1,277.18 30208 取暖费 150.00 31022 无形资产购置 30112 其他社会保障缴费 180.00 30209 物业管理费 354.00 31099 其他资本性支出 30113 住房公积金 1,250.18 30211 差旅费 77.85 30114 医疗费 30212 因公出国（境）费用 14 310 科目名称 123.70 人员经费 科目编码 科目名称 30199 其他工资福利支出 303 对个人和家庭的补助 公用经费 预算数 科目编码 科目名称 30213 维修(护)费 1,213.60 30214 租赁费 日常公用经费 离休费 301.00 30215 会议费 6.50 30302 退休费 340.00 30216 培训费 5.00 30303 退职（役）费 30217 公务接待费 30304 抚恤金 379.00 30218 专用材料费 30305 生活补助 24.00 30225 专用燃料费 30306 救济费 30226 劳务费 220.00 30307 医疗费补助 97.20 30227 委托业务费 70.00 30308 助学金 20.00 30228 工会经费 466.36 30309 奖励金 2.40 30229 福利费 150.00 30399 其他对个人和家庭的补助 50.00 30231 公务用车运行维护费 5.19 30239 其他交通费用 14.80 30240 税金及附加费用 30299 其他商品和服务支出 13,247.86 科目名称 250.88 110.00 公用经费合计 15 日常公用经费 174.00 30301 人员经费合计 科目编码 2,323.71 关于一般公共预算基本支出表的说明 我单位 2023 年初一般公共预算基本支出 15,571.57 万 元。其中： （一）人员经费 13,247.86 万元，主要包括基本工资、津 贴补贴、绩效工资、机关事业单位基本养老保险缴费、职业 年金缴费、职工基本医疗保险缴费、其他社会保障缴费、住 房公积金、离休费、退休费、抚恤金、生活补助、医疗费补 助、助学金、奖励金、其他对个人和家庭的补助支出。 （二）日常公用经费 2,323.71 万元，主要包括办公费、 印刷费、咨询费、手续费、水费、电费、邮电费、取暖费、 物业管理费、差旅费、维修（护）费、会议费、培训费、专 用材料费、劳务费、委托业务费、工会经费、福利费、公务 用车运行维护费、其他交通费用、其他商品和服务支出、办 公设备购置、专用设备购置、信息网络及软件购置更新、公 务用车购置。 16 一般公共预算“三公”经费支出表 部门公开表 7 单位：万元 2022 年预算数 2023 年预算数 公务用车购置及运行费 合计 因公出国（境）费 小计 23.69 10.19 公务用车 购置费 公务用车购置及运行费 公务用车 运行费 公务接待费 10.19 13.50 合计 83.69 因公出国（境）费 公务用车 购置费 公务用车 运行费 公务接待费 小计 70.19 60.00 10.19 13.50 注：根据《中共中央办公厅 国务院办公厅关于转发中央组织部、中央外办等部门<关于加强和改进教学科研人员因公临时出国管理工 作的指导意见>的通知》（厅字〔2016〕17 号），从 2017 年起，教学科研人员因公临时出国开展学术交流合作经费实行区别管理，不 纳入中央部门“三公”经费预算。 17 关于一般公共预算“三公”经费支出表的说明 我单位认真贯彻落实党中央、国务院有关过“紧日子”和坚 持厉行节约反对浪费的要求，切实采取措施，严格控制“三公” 经费支出。2023 年“三公”经费预算数为 83.69 万元。 根据《中共中央办公厅国务院办公厅关于转发中央组织部、 中央外办等部门<关于加强和改进教学科研人员因公临时出国管 理工作的指导意见>的通知》（厅字〔2016〕17 号），从 2017 年起，教学科研人员因公临时出国（境）开展学术交流合作经费 实行区别管理，不纳入中央部门“三公”经费预算。我单位教学 科研人员因公临时出国（境）开展学术交流合作，实行严格审批 制度。公务用车购置及运行费 2023 年预算 70.19 万元，主要用 于科研业务用车购置和运行支出，其中公车购置 60 万元，公车 运行维护费 10.19 万元。公务接待费 2023 年预算 13.5 万元，主 要用于国内外科技交流与合作的公务接待支出。 18 政府性基金收支表 部门公开表 8 单位：万元 2023 年政府性基金预算支出 科目编码 科目名称 合计 合计 我单位 2023 年无政府性基金预算支出。 19 基本支出 项目支出 国有资本经营预算支出表 部门公开表 9 单位：万元 2023 年国有资本经营预算支出 科目编码 科目名称 小计 合 基本支出 计 注：中国科学院 2023 年没有使用国有资本经营预算安排的支出。 我单位 2023 年无国有资本经营预算支出。 20 项目支出 三、其他事项说明 （一）政府采购情况说明 我单位 2023 年政府采购预算总额 6,977.36 万元，其中： 政府采购货物预算 6,075.17 万元、政府采购工程预算 436 万元、政府采购服务预算 466.19 万元。 （二）国有资产占有使用情况说明 截至 2022 年 8 月 31 日，我单位共有车辆 5 辆，其中， 其他用车 5 辆，其他用车主要是科研业务用车。单位价值 100 万元以上设备 124 台（套）。 2023 年部门预算安排购置车辆 3 辆，其中其他用车 3 辆（主要是科研业务用车）；单位价值 100 万元以上设备 53 台（套）。另外，2023 年我单位预计报废其他用车 3 辆。 （三）预算绩效情况说明 2023 年对我单位项目支出全面实施绩效目标管理，涉 及预算拨款 26,487.61 万元，其中：一般公共预算拨款 26,487.61 万元、政府性基金预算拨款 0 万元。 21 四、名词解释 （一）收入科目 1. 一般公共预算拨款收入：指中央财政当年拨付的资 金。 2.事业收入：指事业单位开展专业业务活动及辅助活动 所取得的收入。 3.其他收入：指除上述“一般公共预算拨款收入”、 “事 业收入”、 “事业单位经营收入”等以外的收入。 4.上年结转：指以前年度尚未完成、结转到本年仍按原 规定用途继续使用的资金。 （二）支出科目 1. 科学技术支出（类）：反映用于科学技术方面的支 出，中国科学院半导体研究所预算中主要涉及基础研究、应 用研究、科技条件与服务、科技交流与合作等款级支出科目。 （1）基础研究：反映从事基础研究、近期无法取得实用 价值的应用研究机构的支出、专项科学研究支出，以及重点 实验室、重大科学工程的支出。 （2）应用研究：反映在基础研究成果上，针对某一特定 的实际目的或目标进行的创造性研究工作的支出。 （3）科技条件与服务：反映用于完善科技条件及从事科 技标准、计量和检测，科技数据、种质资源、标本、基因的 收集、加工处理和服务，科技文献信息资源的采集、保存、 22 加工和服务等为科技活动提供基础性、通用性服务的支出。 （4）科技交流与合作：反映科技交流与合作等方面的支 出，包括为提升国家科技水平与国外政府和国际组织开展合 作研究、科技交流方面的支出，以及重大国际科技合作专项 支出等。 2.社会保障和就业支出（类）：反映用于在社会保障和 就业方面的支出。 3.住房保障支出（类）：反映用于住房方面的支出，中 国科学院预算中主要涉及住房改革支出 1 个“款”级科目。 住房改革支出包括三项：住房公积金、提租补贴和购房补贴。 其中：住房公积金是按照《住房公积金管理条例》的规定， 由单位及其在职职工缴存的长期住房储金。提租补贴是经国 务院批准，于 2000 年开始针对在京中央单位公用住房租金 标准提高发放的补贴，中央在京单位按照在职在编职工人数 和离退休人数及相应职级的补贴标准确定。购房补贴是根据 《国务院关于进一步深化城镇住房制度改革加快住房建设 的通知》（国发〔1998〕23 号）的规定，从 1998 年下半年 停止实物分房后，对无房和住房未达标职工发放的住房分配 货币化改革补贴资金。 4.结转下年：指以前年度预算安排、因客观条件发生变 化无法按原计划实施，需延迟到以后年度按原规定用途继续 使用的资金。 23 附表：中国科学院半导体研究所项目预算绩效目标表 化合物半导体探测器件加工检测平台（区域中心）绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 化合物半导体探测器件加工检测平台（区域中心） 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 744.00 其中：财政拨款 744.00 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 总 体 目 标 针对光电子器件技术领域的发展特点，通过设备购置，提升化合物半导体发光器件加工检测平台在精密加 工及高精度检测方面的能力，进一步提升所级中心技术能力，满足研究所、北京周边，乃至全国化合物半导体 光电器件领域日益发展的迫切需求。本项目拟申请购置设备 3 台/套，具体包括：（1）超高分辨率扫描电镜， （2）扩展电阻测试系统，（3） 双面曝光机。 一级指标 二级指标 成本指标 经济成本指标 产出指标 三级指标 成本控制 效益指标 20 ＝3 台/套 20 质量指标 设备验收合格率 ＝100% 10 时效指标 进度执行情况 按照计划进度执行 10 经济效益指标 设备使用年限 社会效益指标 开机使用效率 社会效益指标 向所外开放共享的设备占比 社会效益指标 满意度指标 不高于预算控制数 购置（研制）设备数量 指 标 分值权重 数量指标 绩 效 指标值 向所外开放共享设备开放共享 率 达到或优于同类型仪器 设备平均使用水平 达到或优于同类型仪器 设备平均使用水平 5 5 =100% 5 ≥10% 5 服务对象满意度指标 技术人员满意度 ≥90% 5 服务对象满意度指标 设备用户满意度 ≥90% 5 24 高速光子集成芯片工艺及测试平台绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 高速光子集成芯片工艺及测试平台 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 510.00 其中：财政拨款 510.00 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年 高速光子集成芯片工艺及测试平台旨在搭建高速光子集成芯片工艺和测试平台，为硅基多种材料和器件的大 度 规模集成和功能优化提供基础。为优化光子集成芯片的制备工艺、实现高速性能测试以及性能调控研究提供设备 总 基础，为进一步解决对光子的可靠性控制难题，实现高速光子集成芯片性能的提升和调控奠定实验基础。完成 4 体 台设备采购，分别是亚微米倒装焊机、多光谱探测系统光学参数测试仪、矢量电磁输运测试系统。 目 标 一级指标 二级指标 成本指标 经济成本指标 产出指标 三级指标 成本控制 指标值 分值权重 不高于预算控制数 20 ≥3 台/套 20 数量指标 购置（研制）设备数量 质量指标 设备验收合格率 100% 10 时效指标 进度执行情况 按照计划进度执行 10 社会效益指标 开机使用效率 社会效益指标 向所内开放共享的设备占比 绩 效 指 标 效益指标 社会效益指标 社会效益指标 满意度指标 向所外开放共享设备开放共享 率 设备使用年限 达到或优于同类型仪器设 备平均使用水平 5 100% 5 ≥10% 5 不低于同类型仪器设备使 用年限 5 设备用户满意度 ≥90% 5 技术人员满意度 ≥90% 5 服务对象满意度指标 25 12 号等科研辅助用房装修改造项目绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 12 号等科研辅助用房装修改造项目 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 436.00 其中：财政拨款 436.00 项目资金（万元） 执行率 分值 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 （10） 年 度 总 体 目 目标 1：设计、监理等签订合同 目标 2：主要设备采购进场，具备施工条件，全部完成竣工，满足科研需求。 标 一级指标 二级指标 成本指标 经济成本指标 绩 三级指标 指标值 分值权重 工程投资控制数 ≤436 万元 20 数量指标 修缮业务用房面积 2900 平方米 20 质量指标 竣工验收合格率 100% 10 时效指标 项目完成时间 2023 年 12 月底完成 10 改善/提升科研基础设施水平 有效改善科研工作环境 20 ≥90% 10 效 指 产出指标 标 效益指标 社会效益指标 满意度指标 服务对象满意度指标 科研人员满意度 26 高速率、高功率和窄线宽激光发射机制绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 高速率、高功率和窄线宽激光发射机制 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 652.89 其中：财政拨款 652.89 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 年 度 总 体 目 标 探索光电融合一体化的多维多场激光调控机制，形成高速率、高功率和窄线宽激光发射机制基本理论模型， 揭示光场和电场在融合集成 III-V 族半导体结构受激辐射过程中的相互作用机理；突破噪声抑制、线宽压窄、功 率放大、高速调制等多维特性调控的实现机制；实现满足下一代空间相干光通信应用的高速率、高功率和窄线宽 半导体激光器，完成高速激光通信系统收发一体集成组件研制和系统演示验证。 一级指标 二级指标 数量指标 三级指标 高质量论文 指标值 分值权重 ≥5 篇 20 窄线宽种 子激 光器线宽 ≤1Hz；种子光源频率稳 定 性 ≤30KHz/s( 标 准 方 差)；高速高功率窄线宽 绩 激光器模块综合指标 产出指标 效 质量指标 ≤10Hz 量级线宽、0Gb/s 技术指标 指 速率、 3W 输出功率；模 标 块 高 速 传 输 误 码 率 30 ≤1E-3 （ 纠 错 前 ） @-48dBm&10Gb/s；卫星激 光通信窄 线宽 激光器模 块应用数量 10 套。 效益指标 社会效益指标 引导国家重大科技任务 满意度指标 服务对象满意度指标 用户满意度 27 引领先进水平 30 ≥90% 10 光电融合集成结构物理模型绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 光电融合集成结构物理模型 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 624.07 其中：财政拨款 624.07 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 年 度 总 体 目 揭示光子、电子与声子，光场与电场之间的相互作用机理；建立微纳尺度下光电融合集成调控结构物理模型； 发展异质异构半导体材料与器件高效发光的理论体系，实现新结构、新原理高效发光的实验验证，为硅基及 III-V 族高性能激光材料与器件研制提供支撑。 标 一级指标 二级指标 数量指标 三级指标 高质量论文 指标值 分值权重 ≥5 篇 20 1. 窄线宽种子激光器 线宽≤1Hz；种子光源 频率稳定性≤30KHz/s （标准方差)； 高速高 功率窄线宽激光器模 块综合指标≤10Hz 量 绩 产出指标 效 级线宽、 10Gb/s 速 质量指标 技术指标 率、 3W 输出功率； 指 2.EAM 调制带宽达到 标 35GHz 30 3. 放大器样品，输出 功率 400mW，M2 因子 1.3，相干合成模块输 出功率 2W ，M2 因子 1.5。 效益指标 社会效益指标 光电融合集成物理学科 满意度指标 服务对象满意度指标 用户满意度 28 国际先进水平 30 ≥90% 10 硅基高效发光机理与单片集成激光器绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 硅基高效发光机理与单片集成激光器 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 758.04 其中：财政拨款 758.04 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 年 度 总 体 目 标 根据国内外硅基集成激光器研究的现状、发展态势以及已有的工作基础，本专项提出开展硅基集成激光器物 理、工艺与应用前沿研究，重点聚焦硅基集成激光器可能带来的变革性研究方向，研究硅基掺杂应变锗及锗锡合 金、硅基 III-V 族半导体激光器等涉及的关键科学问题，探索其工艺兼容性，并最终进行超高速光发射芯片的演 示验证。 一级指标 二级指标 数量指标 三级指标 高质量论文 指标值 分值权重 ≥5 篇 20 应变锗发光波长 2.3 μm、发光内量子效率 30％、晶格缺陷密度＜ 5×1013 cm-2；制备出 绩 产出指标 效 可在室温下工作的锗 质量指标 技术指标 锡光泵激光器。 指 硅基反馈集成波导传 标 输损耗小于 0.1dB/cm 30 硅基光调制器阵列芯 片数据总速率达到 1.6Tb/s。 效益指标 社会效益指标 硅基光子学研究 满意度指标 服务对象满意度指标 用户满意度 29 处于国际先进水平 30 ≥90% 10 光电子材料与器件全国重点实验室开放运行费绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 光电子材料与器件全国重点实验室开放运行费 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 250.00 其中：财政拨款 250.00 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 光电子材料与器件是新一代信息技术和众多新场景应用的基础核心，已成为衡量一个国家高科技竞争力的重 总 体 目 标 要标志。在当前国际形势下，亟需加强原始创新，攻克光电子材料与器件核心技术，构筑技术长板，弥补短板与 不足，保障我国信息安全、产业安全与国防安全，支撑“宽带中国”、“数字经济”、“新基建”等国家战略的 实施。 实验室重点面向光通信与光互连等应用需求，围绕光电子材料与器件在异质异构集成、多维光电调控和多功 能一体化三大发展趋势中的关键科技问题，构建涵盖“机理-材料-器件-集成-应用”的全链条研发体系，实现光 电子材料与器件关键技术的跨越式发展。 一级指标 二级指标 三级指标 指标值 分值权 重 硅基量子点激光材料与器件， 单模输出功率≥50 mW； 产出指标 质量指标 科学研究目标 高速光子集成芯片，单信道速 50 率≥200 Gb/s，多信道速率≥ 绩 6.4 Tb/s； 效 完善自主创新科研体系和人才 指 培养体系，深化与龙头企业的 标 战略性实质合作，加快通信用 效益指标 社会效益指标 光电子芯片关键核心 技术攻 建设意义 关，打造“产-学-研-用”深度 30 融合新模式。光电子材料与器 件技术创新能力显著增强，研 发能力达到国际一流水平。 满意度指标 服务对象满意度指标 科研人员满意度指标 30 ≥90% 10 半导体物理全国重点实验室基本科研业务费绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 半导体物理全国重点实验室基本科研业务费 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 300.00 其中：财政拨款 300.00 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 总 面向后摩尔时代集成电路技术重点发展原子级全量子力学器件仿真软件与算法，挑战室温磁性半导体和硅基 体 发光等最前沿的重大科学问题，发展多维度光电传感器与智能化光电信息处理器等。研制出原子级微电子器件量 目 子输运模拟软件，实现室温磁性半导体材料“从 0 到 1”的突破，研制出硅基兼容的全电学调控室温自旋电子器 标 件，基于理论原创方案实现兼容 CMOS 工艺的硅基发光“从 0 到 1”原始创新，研制出百万像素的感算一体原型 芯片等。 一级指标 二级指标 三级指标 指标值 分值权重 在微纳电子、光电融 合、量子器件以及超越 摩尔方向中的关键科 产出指标 质量指标 学问题取得突破，为后 科研突破 绩 摩尔时代集成电路技 效 术提供新材料、新结 指 构、新思路、新原理发 标 展方案。 50 率先建成半导体物理 领域的国际一流科研 效益指标 社会效益指标 建设意义 机构，成为集成电路关 30 键核心技术原始创新 的主要策源地。 满意度指标 服务对象满意度指标 科研人员满意度指标 31 ≥90% 10 光电子材料与器件全国重点实验室基本科研业务费绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 光电子材料与器件全国重点实验室基本科研业务费 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 300.00 其中：财政拨款 300.00 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 光电子材料与器件是新一代信息技术和众多新场景应用的基础核心，已成为衡量一个国家高科技竞争力的重 总 体 目 标 要标志。在当前国际形势下，亟需加强原始创新，攻克光电子材料与器件核心技术，构筑技术长板，弥补短板与 不足，保障我国信息安全、产业安全与国防安全，支撑“宽带中国”、“数字经济”、“新基建”等国家战略的 实施。 实验室重点面向光通信与光互连等应用需求，围绕光电子材料与器件在异质异构集成、多维光电调控和多功 能一体化三大发展趋势中的关键科技问题，构建涵盖“机理-材料-器件-集成-应用”的全链条研发体系，实现光 电子材料与器件关键技术的跨越式发展。 一级指标 二级指标 三级指标 指标值 分值权重 开发大尺寸、高质量光电子单晶衬底材 料生长外延技术，研制高性能光电功能 材料；发展多材料多维度光电融合理论 产出指标 质量指标 科学研究目标 体系，满足器件仿真设计需求；掌握多 50 维度、多自由度、多效应下的光子调控 绩 方法，研制出阵列化紫外至太赫兹波段 效 光源及多谱段高性能探测器件等。 指 完善自主创新科研体系和人才培养体 标 系，深化与龙头企业的战略性实质合作， 效益指标 社会效益指标 加快通信用光电子芯片关键核心技术攻 建设意义 关，打造“产-学-研-用”深度融合新模 30 式。光电子材料与器件技术创新能力显 著增强，研发能力达到国际一流水平。 满意度指标 服务对象满意度指标 科研人员满意度 指标 32 ≥90% 10 人才支撑体系专项（基建）绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 主管部门 人才支撑体系专项（基建） 中国科学院 实施单位 中国科学院半导体研究所 年度资金总额： 50.00 其中：财政拨款 50.00 上年结转资金 0.00 其他资金 0.00 项目资金（万元） 执行率 分值 （10） 年度目标 总 体 目 中国科学院给予用人单位经费补助，支持用人单位帮助解决入选者的安居问题和人员支出。支持用人单位的 补助经费由院一次性拨付。入选者在项目执行期间可优先享受院“3H”人才保障政策支持。 标 绩 一级指标 二级指标 效 产出指标 数量指标 指 效益指标 标 满意度指标 三级指标 指标值 分值权重 购买住房 ≥1 套 50 社会效益指标 科研人员稳定性 ≥1 人 30 服务对象满意度指标 科研人员满意度 ≥60% 10 33 “传感-计算”共融的新一代半导体芯片及系统集成绩效目标表 (2023 年度) 项目名称 “传感-计算”共融的新一代半导体芯片及系统集成 主管部门 实施单 中国科学院 中国科学院半导体研究所 位 年度资金总额： 2000.00 执行 项目资金（万 其中：财政拨款 2000.00 上年结转资金 0.00 元） 率 分值 （10） 其他资金 0.00 年度目标 初步建立光照等非平衡条件下缺陷理论与载流子动力学理论模型；建立半导体低维量子结构掺杂理论 年 模型；建立有效的锑化物传感器件相关量子结构的能带调控模型。建立锑化物量子结构传感器件设计准则， 度 并优化相关器件结构。基于国产 GaSb 单晶衬底研制 2 英寸及以上直径的锑化物外延量子结构材料。外延材 总 料与衬底间应变≤0.2%，材料室温光致荧光峰值波长达到 2.5μm。提出模数混合智能处理架构、轻量化智 体 能处理算法的总体框架，开展架构和算法的高层次仿真，完成算法在架构上的性能评估。建立处理器的软 目 硬件验证平台。 标 一级指标 二级指标 数量指标 三级指标 指标值 高质量论文与专利 发表高质量论文≥10 篇，申请专利 4-8 项。 分值 权重 20 建立锑化物量子结构半导体相关物理模型； 国产化锑化物外延量子结构材料直径≥2 英 绩 产出指标 质量指标 效 寸；外延材料与衬底间应变≤0.2%；材料室温 技术指标 光致荧光峰值波长达到 2.5μm； 指 实现架构和算法的高层次仿真，建立处理器的 标 软硬件验证平台。 30 社会效益指标 培养研究生 ≥10 人 15 社会效益指标 导出国家重大任务 ≥2 项 15 满意度指 服务对象满意 科研人员满意度指 标 度指标 ≥90% 10 效益指标 标 34