1. 中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取社备工作场所竣工环境保护验收监测报告表.pdf

中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片 级器件辐照及辐射效应参数提取设备 工作场所竣工环境保护 验收监测报告表 建设单位: 中国科学院新疆理化技术研究所 编制单位: 新疆智检汇安环保科技有限公司 2023 年 3 月 建设单位法人代表: （签字） 编制单位法人代表: （签字） 项 填 目 负 责 人: 表 人: 建设单位：中国科学院新疆理化技术研 编制单位：新疆智检汇安环保科技有 究所 （盖章） 限公司 （盖章） 电话： 电话：0991-5090688 传真：/ 传真：0991-5090688 邮编：830000 邮编：830011 地址：乌鲁木齐市新市区北京南路 40-1 地址：乌鲁木齐市天山区红旗路 91 号 号夏蒙大厦 7 楼 目录 表一 项目概况............................................................................................................... 1 表二 工程建设内容....................................................................................................... 6 表三 主要污染源及污染途径..................................................................................... 13 表四 建设项目环评报告表主要结论及审批部门决定............................................. 14 表五 辐射安全管理及环境保护措施落实情况......................................................... 20 表六 验收监测质量保证及质量控制......................................................................... 26 表七 验收监测内容..................................................................................................... 27 表八 验收监测结果..................................................................................................... 29 表九 验收监测结论..................................................................................................... 32 附件 附件一：验收委托书 附件二：辐射安全许可证 附件三：环境影响批复文件 附件四：辐射防护与环境保护管理领导小组 附件五：辐射安全与防护制度 附件六：辐射安全事故应急预案 附件七：辐射工作人员培训证书 附件八：个人剂量检测报告 附件九：职业健康体检报告 附件十：检测报告 电离辐射警告标识 F101 室内 信号灯 铅房操作窗口旁紧急停机按钮 控制台处紧急停机按钮 个人剂量报警仪、辐射巡测仪器 上墙制度 表一 项目概况 中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应 建设项目名称 参数提取设备工作场所 建设单位名称 中国科学院新疆理化技术研究所 建设项目性质  新建 改建 扩建 其它 建设地点 乌鲁木齐市高新区（新市区）北京南路 40-1 号中国科学院新疆理 化技术研究所 3 号楼 使用晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备进行科研（辐照） 主要产品名称 工作 乌环评审〔2021〕35 号 在乌鲁木齐市高新区（新市区）北京南路 40-1 号新疆理化所 3 号 楼负一层 F101 室内新建一间铅房，地理坐标为：东经 87°34′ 设计生产能力 38″、北纬 43°52′31″。将原位于 3 号楼负一层 F104 房间的 晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线 机）搬迁至 F101 室内新建铅房内，用于科研（辐照）工作。该项 目通过 X 射线机对晶片级别器件进行辐照。 在乌鲁木齐市高新区（新市区）北京南路 40-1 号新疆理化所 3 号 楼负一层新建 X 光辐照测试实验室（F101 室），将原位于 3 号楼 实际生产能力 负一层 F104 房间的晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备 （MXR-165 型 X 射线机）搬迁至 F101 室内新建铅房内，用于科 研（辐照）工作。 建设项目环评 时间 2021 年 8 月 开工建设时间 2022 年 6 月 调试时间 2022 年 7 月 验收现场监测时间 2023 年 1 月 环评报告表 审批部门 乌鲁木齐市生态环 境局 环评报告表 编制单位 乌鲁木齐众智安环工程 咨询有限公司 环保设施设计 单位 丹东奥龙检测技术 服务有限公司 环保设施施工单位 丹东奥龙检测技术服务 有限公司 — 1 — 投资总概算 (万元) 实际总概算 (万元) 312 环保投资总概算 32 比例 10% 312 环保投资 32 比例 10% (1) 《中华人民共和国环境保护法》（2015 年 1 月 1 日）； (2) 《中华人民共和国放射性污染防治法》（2003 年 10 月 1 日）； (3) 《建设项目环境保护管理条例》国务院第 682 号令﹙2017 年 10 月 1 日）； (4) 《放射性同位素与射线装置安全和防护条例》国务院第 449 号令﹙2005 年 12 月 1 日施行，2019 年 3 月 2 日修订﹚； (5) 《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》国家环保总 局第 31 号令﹙2006 年 3 月 1 日施行，2021 年 1 月 4 日修改﹚； 验收监测 依据 (6) 《射线装置分类》，环境保护部、国家卫生和计划生育委员 会公告（2017 年第 66 号）； (7) 《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》国环规环评[2017]4 号； (8) 《建设项目竣工环境保护验收技术指南污染影响类》(生态环 境部公告 2018 年第 9 号，2018 年 5 月 15)； (9) 《中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐 射效应参数提取设备工作场所环境影响报告表》乌鲁木齐众智安 环工程咨询有限公司（2021 年 8 月制）； (10) 《关于中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照 及辐射效应参数提取设备工作场所环境影响报告表的批复》（乌 环评审〔2021〕35 号）。 — 2 — (1) 《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）； (2) 《辐射环境监测技术规范》（HJ61-2021）； (3) 《工业探伤放射防护标准 》（GBZ117-2022）（环境影响评 价时执行标准为《工业X射线探伤放射防护要求》GBZ117-2015， 验收监测 规范 该标准已被《工业探伤放射防护标准 》GBZ117-2022代替，根据 《建设项目竣工环境保护验收技术指南污染影响类》“建设项目 竣工环境保护验收污染物排放标准原则上执行环境影响报告书 （表）及其审批部门审批决定所规定的标准。在环境影响报告书 （表）审批之后发布或修订的标准对建设项目执行该标准有明确 时限要求的，按新发布或修订的标准执行。”本次验收标准按修 订的《工业探伤放射防护标准 》GBZ117-2022执行）； (4) 《职业性外照射个人监测规范》（GBZ128-2019）。 1、《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002） （2）职业照射和公众照射的年剂量限值 ①职业照射剂量限值 a）连续 5 年的年平均有效剂量，20mSv； b）任何一年中的有效剂量，50mSv。 验收监测评 价标准、标 号、级别、 限值 ②公众照射剂量限值 a）年有效剂量，1mSv； b）特殊情况下，若 5 个连续年的年平均剂量不超过 1mSv， 则某一单一年份的有效剂量可提高到 5mSv。 对辐射工作人员、公众的剂量控制不仅要满足剂量限值的要 求，而应依据辐射防护最优化原则，按照剂量约束和潜在照射危 险约束的防护要求，把辐射水平降低到低于剂量限值的一个合理 达到的尽可能低的水平。因此，本次评价采用年剂量管理约束值 如下： a）辐射工作人员采用年剂量限值的 1/4，即 5mSv/a 作为年剂 — 3 — 量管理约束值。 b）公众人员采用 0.1mSv/a 作为年剂量管理约束值。 2、《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022） 6.1 探伤室放射防护要求 6.1.1 探伤室的设置应充分注意周围的辐射安全，操作室应避 开有用线束照射的方向并应与探伤室分开。探伤室的屏蔽墙厚度 应充分考虑源项大小、直射、散射、屏蔽物材料和结构等各种因 素。无迷路探伤室门的防护性能应不小于同侧墙的防护性能。 6.1.2 应对探伤工作场所实行分区管理，分区管理应符合 GB 18871 的要求。 6.1.3 探伤室墙体和门的辐射屏蔽应同时满足： a) 关注点的周围剂量当量参考控制水平，对放射工作场所， 其值应不大于 100μSv/周，对公众场所，其值应不大于 5μSv/周； b) 屏蔽体外 30cm 处周围剂量当量率参考控制水平应不大于 2.5μSv/h。 6.1.4 探伤室顶的辐射屏蔽应满足： a) 探伤室上方已建、拟建建筑物或探伤室旁邻近建筑物在自 辐射源点到探伤室顶内表面边缘所张立体角区域内时，探伤室顶 的辐射屏蔽要求同 6.1.3； b) 对没有人员到达的探伤室顶，探伤室顶外表面 30cm 处的 周围剂量当量率参考控制水平通常可取 100μSv/h。 6.1.5 探伤室应设置门-机联锁装置，应在门（包括人员进出门 和探伤工件进出门）关闭后才能进行探伤作业。门-机联锁装置的 设置应方便探伤室内部的人员在紧急情况下离开探伤室。在探伤 过程中，防护门被意外打开时，应能立刻停止出束或回源。探伤 室内有多台探伤装置时，每台装置均应与防护门联锁。 6.1.6 探伤室门口和内部应同时设有显示“预备”和“照射” — 4 — 状态的指示灯和声音提示装置，并与探伤机联锁。“预备”信号 应持续足够长的时间，以确保探伤室内人员安全离开。“预备” 信号和“照射”信号应有明显的区别，并且应与该工作场所内使 用的其他报警信号有明显区别。在醒目的位置处应有对“照射” 和“预备”信号意义的说明。 6.1.7 探伤室内和探伤室出入口应安装监视装置，在控制室的 操作台应有专用的监视器，可监视探伤室内人员的活动和探伤设 备的运行情况。 6.1.8 探伤室防护门上应有符合 GB 18871 要求的电离辐射警 告标志和中文警示说明。 6.1.9 探伤室内应安装紧急停机按钮或拉绳，确保出现紧急事 故时，能立即停止照射。按钮或拉绳的安装，应使人员处在探伤 室内任何位置时都不需要穿过主射线束就能够使用。按钮或拉绳 应带有标签，标明使用方法。 6.1.10 探伤室应设置机械通风装置，排风管道外口避免朝向 人员活动密集区。每小时有效通风换气次数应不小于 3 次。 （本页以下空白） — 5 — 表二 工程建设内容 2.1 项目概况 中国科学院新疆理化技术研究所（以下简称新疆理化所），于2002年3月28日， 在原中国科学院新疆物理研究所和中国科学院新疆化学研究所（均于1961年成立） 的基础上整合成立。 为提高科研成果的精度，减少实验结果的误差，新疆理化所将3号楼负一层F101 号房间改建成10万级洁净实验室，并在室内新建一间铅房，将原位于3号楼负一层 F104号房间的晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165型X射线机）搬 迁至F101室内新建铅房内，用于科研（辐照）工作。 新疆理化所于 2021 年 8 月委托乌鲁木齐众智安环工程咨询有限公司编制了《中 国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场 所环境影响报告表》，2021 年 9 月 23 日取得了由乌鲁木齐市生态环境局《中国科学 院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场所环境 影响报告表的批复》文件（乌环评审〔2021〕35 号）。 新疆理化所于 2022 年 8 月 10 日通过重新申领取得了由生态环境部颁发的《辐 射安全许可证》，证书编号：国环辐证[00398]，许可种类和范围：使用Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、 Ⅳ、Ⅴ类放射源；使用Ⅱ类、Ⅲ类射线装置。有效期至 2023 年 9 月 30 日。 按照《中华人民共和国环境保护法》、《建设项目环境保护管理条例》、《放 射性同位素与射线装置安全和防护条例》和《建设项目竣工环境保护验收暂行管理 办法》等法律法规的要求。新疆理化所按照要求委托新疆智检汇安环保科技有限公 司开展本项目竣工环境保护验收工作，公司接受委托后，组织有关技术人员对项目 进行了实地踏勘、资料收集、现场监测等工作，在此基础上于 2023 年 3 月编制完成 了该项目的竣工验收监测表。 2.2 地理位置及平面布置 新疆理化所位于乌鲁木齐市高新区（新市区）北京南路 40-1 号，地理位置示意 图见图 2-1。 本项目为晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场所建设项目。本项目 — 6 — 所在新疆理化所 3 号楼，3 号楼北侧为一临时彩钢板房，西侧为电子直线加速器室， 南侧为 3 号楼停车场，东侧为大钴源室、小钴源室和质子加速器室。位置示意图见 图 2-2。 本项目铅房位于新疆理化所 3 号楼负一层 X 光辐照测试实验室（F101 室），X 光辐照测试实验室（F101 室）北侧为通道，西侧为净化空调机房，南侧为检修通 道，东侧为更衣室和风淋室。 X 光辐照测试实验室（F101 室）内部设置示意图见图 2-3，场所周围平面示意 图见图 2-4。 图 2-1 中国科学院新疆理化技术研究所地理位置示意图 大钴源室 小钴源室 3 号楼 电子加速 项目位置 器室 质子加速 器室 图 2-2 项目所在位置及周边示意图 — 7 — C X光辐照测试实验室 F101 风淋室 测 试 机 柜 铅房 空压机房 女厕 电梯 门禁 门斗 E 楼梯口 保安值 班室 楼 梯 间 门卫室 电 梯 化学间 配电室 F104 F105 切片室 大规模 电路测 试实验 室 F107 半导体 参数分 析实验 室 F112 成品库 F113 设备室 楼梯间 可靠性 与加速 实验室 楼梯口 F111 F111 实验 原材 室 料库 F108 真空高 温冲击 光电材 料与器 件实验 室 模拟电 路测试 实验室 F109 F106 烧结间 一层平面图 计算机 试验准 保密室 模拟与 备与工 数据库 具间 储物室 更衣室 风淋室 辐射剂 量实验 室 中小规 模电路 测试实 验室 F114 实验室 F123 F121 学生 设备间 实验 室 图 2-4 场所周围平面示意图 男厕 铅房 测 试 机 柜 F101 X光辐照测试实验室 库房 会议室兼会客室 净化空 调机房 空压 机房 检修通道 负一层平面图 — 8 — 控制台 净化空调 机房 更衣室 操作窗口 检修门 检修通道 图 2-3 X 光辐照测试实验室（F101 室）内部设置示意图 2.3 主要工程内容及规模 新疆理化所在将原位于3号楼负一层F104室内的晶片级器件辐照及辐射效应参数 提取设备（MXR-165型X射线机）搬迁3号楼负一层X光辐照测试实验室（F101室） 内新建铅房内，用于科研（辐照）工作。 本项目射线装置见表2-1。 表 2-1 射线装置一览表 序号 设备名称 型号 管电压 （kV） 管电流 （mA） 类别 用途 1 晶片级器件辐照及辐 射效应参数提取设备 MXR-165 160 50 Ⅱ类 科研（辐照） 备注 2.4项目投资及环保投资 中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备 工作场所总投资312万元，其中环保投资32万元，占总投资的10%。环保投资情况见 表2-2。 表2-2 环保投资情况一览表 项目 环保投资金额（万元） 铅房定制 19 辐射工作人员配备个人剂量计、个人剂量报警仪、铅防护用品 1 配备辐射监测仪器，制定监测方案定期对辐射工作人员和辐射工作 场所进行监测 2 门机联锁装置、监控设备、紧急停机装置、工作状态指示灯、电离 辐射警告标、新风系统 4 环保手续履行相关费用 6 合计 32 2.5项目变更情况 根据现场调查，本项目建设性质、建设规模、工艺流程均与环评一致，采取的 安全防护设施中，通风装置与监测仪器和防护用品发生变更，变更情况见表2-3，采 取的其他辐射安全防护措施均与本项目环境影响报告表及其批复中描述的一致，未 发生变更。 — 9 — 表2-3 环评和验收阶段项目变更情况一览表 序 号 项目 环评阶段 验收阶段 1 通风 本项目通风装 置设置在铅房 顶部，外接管 道将废气排到 室外。 本项目F101 X光辐照测试 实验室设计为10万级净化 实验室，设置了新风系统 ，且排风管道外口设置在 楼顶。 2 监测仪器和 防护用品 配备个人剂量 报警仪2台。 配备个人剂量报警仪1台 。 备注 本项目环评阶段通风装置设 计按照普通X射线探伤机进 行设置，因实际建设阶段考 虑到净化实验室的要求，最 终按照10万级净化实验室设 置了新风系统。 本项目环评阶段按照X射线 探伤机现场需配备2名辐射工 作人员操作的要求，实际建 成运行后，现场仅需1名辐射 工作人员即可完成辐照相关 工作。 本项目实际建成的通风装置能够满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ1172022）中第 6.1.10 款：探伤室应设置机械通风装置，排风管道外口避免朝向人员活 动密集区。每小时有效通风换气次数应不小于 3 次的要求。本项目实际的配备 1 台 个人剂量报警仪能够满足实际工作中使用的要求。 综上所述，项目建设未出现可能导致不利环境影响显著加重的变动情况，因此 项目无重大变动。 2.6主要工艺流程及产物环节 2.6.1 工作分析 本项目使用晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线 机），用于对晶圆级器件的辐照、电参数测试、以及提取器件的辐射效应参数与辐 照剂量、偏置、温度关系。 2.6.2 工作原理 晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）的核心部件 是 X 射线管。它是一个内真空的玻璃管，其中一端是作为电子源的阴极，另一端是 嵌有靶材料的阳极。当两端加有高压时，阴极的灯丝热致发射电子。由于阴极和阳 极两端存在电位差，电子向阳极运动，形成静电式加速，获取能量。具有一定动能 的高速运动电子，撞击靶材料，产生 X 射线。本项目晶片级器件辐照及辐射效应参 数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）外观见图 2-5。 — 10 — 图 2-5 本项目晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机） 本项目晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机），具 有对晶圆级器件的辐照、电参数测试、以及提取器件的辐射效应参数与辐照剂量、 偏置、温度关系的功能。该设备建成后，能够实现基于 foundry 的器件辐射效应模拟 试验，完成器件辐射效应模型参数提取；同时能够为国产元器件的抗辐射设计加 固、标准加固工艺的发展提供试验技术支撑，从而形成面向国产元器件抗辐射设 计、工艺、考核和验证等研发全过程的抗辐射加固共性技术支撑体系。 2.6.3 操作流程 晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）操作流程 为：将元器件通过操作窗口摆放至辐照平台，关闭铅房门，经检查门机联动装置及 警示灯等防护设备工作正常后，操作人员撤离进入操作位，根据辐照要求设置曝光 时管电压和曝光时间，现场无关人员撤离。然后打开晶片级器件辐照及辐射效应参 数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）进行辐照，辐照结束后，关闭晶片级器件辐照 及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）。 其操作流程及产污如图 2-6 所示： — 11 — 图 2-6 Х 射线机操作流程及产污位置图 2.6.4 污染物产出环节 （1）X 射线 由 X 射线机的工作原理可知，X 射线是随机器的开、关而产生和消失。本项目 使用的 X 射线机只有在开机并处于出线状态时（曝光状态）才会发出 X 射线。因 此，在开机曝光期间，X 射线经漏射、散射对作业场所及周围环境产生影响。 （2）臭氧和氮氧化物 0.6kV 以上的 X 射线能使空气电离，会产生少量臭氧和氮氧化物，因此本项目 X 射线机在运行时除产生少量的臭氧和氮氧化物外，无其它放射性废气、废水和固 体废物产生。 （本页以下空白） — 12 — 表三 主要污染源及污染途径 3.1污染源项分析 1、X射线 由X射线装置的工作原理可知，X射线是随机器的开、关而产生和消失。本项 目使用的X射线装置只有在开机并处于出线状态时（曝光状态）才会发出X射线。 因此，在开机曝光期间，X射线经漏射、散射、折射对作业场所及周围环境产生影 响。 2、臭氧和氮氧化物 0.6 kV以上的X射线能使空气电离，会产生少量臭氧和氮氧化物，因此本项目X 射线装置在运行时除产生少量的臭氧和氮氧化物外，无其它放射性废气、废水和固 体废物产生。 3.2污染途径 3.2.1正常工况的污染途径 当电子轰击靶时，与靶物质发生作用产生韧致辐射X射线，X射线有用主束、 泄漏辐射或散射辐射对工作人员的照射，以及上述辐射产生的贯穿辐射对周围环境 和人员可能产生的影响。 3.2.2.事故工况下的污染途径 （1）X 射线机正常工作时，门机连锁装置发生故障，导致发生误照射。 （2）操作人员违反操作规程或误操作，造成意外照射。 针对本项目可能发生的辐射事故，可采取以下的处理措施： 1）立即按下设备的急停按钮，切断装置的电源，组织人员保护现场，迅速报 告单位管理部门进行事故处理，并上报生态环境部门； 2）迅速安排受照人员接受医学检查和救治； 3）事故发生后，积极配合管理部门做好事故调查和善后处理工作； 4）对发生事故的射线装置，请有关供货单位或相关检测部门进行检测或维 修， 分析事故发生的原因，并提出改进意见。 （本页以下空白） — 13 — 表四 建设项目环评报告表主要结论及审批部门决定 4.1 环境影响报告表主要结论 4.1.1 可行性分析结论 1、产业政策的符合性 本项目属于国家发展和改革委员会《产业结构调整指导目录(2019 年本)》中鼓 励类项目（第六项 核能 第 6 条 同位素、加速器及辐照应用技术开发），本工程不 涉及自然保护区、风景名胜区、森林公园、饮用水水源保护区等生态敏感区域，项 目建设符合国家产业政策、环保政策和相关规划。 2、实践的正当性 该设备建成后，能够实现基于 foundry 的器件辐射效应模拟试验，完成器件辐 射效应模型参数提取；同时能够为国产元器件的抗辐射设计加固、标准加固工艺的 发展提供试验技术支撑，从而形成面向国产元器件抗辐射设计、工艺、考核和验证 等研发全过程的抗辐射加固共性技术支撑体系。该项目用于科研工作，符合辐射防 护“正当实践”原则；同时根据表 11 的类比分析和理论估算，本项目运营后，在 正常工况下不会对周边环境和人员产生额外的电离辐射影响，符合《电离辐射防护 与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）“实践的正当性”的原则。 3、选址合理性 本项目为科研用晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备，在固定工作场所内 进行作业。该设备已于 2015 年编制了《科研用 X 射线机应用项目环境影响登记 表》，取得原新疆维吾尔自治区环境保护厅《关于中国科学院新疆理化技术研究所 科研用 X 射线机应用项目环境影响登记表的批复》（新环函〔2015〕1031 号）； 此项目的 X 射线装置在铅房内使用，铅房放置在独立房间，根据表 11 的类比分析 和理论估算可知，该项目正常运行后不会对该所人员及周边环境产生影响，因此认 为该项目选址合理。 4.1.2 环境影响分析结论 根据表 11 类比分析，本项目职业人员在探伤装置射线出束状态下的最大附加 年有效剂量为 0.28mSv/a，公众人员在探伤装置射线出束状态下的最大附加年有效 — 14 — 剂量为 6.25×10-4mSv/a。项目正常运行时，周围环境中辐射工作人员和公众人员所 受辐射年有效剂量均低于本评价提出的 5.0mSv/a 和 0.1mSv/a 的年管理剂量约束 值。符合《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）中关于“剂量 限制”的要求。 4.1.3 环境影响分析结论 1、项目所在地区环境质量现状 根据检测结果，新疆理化所晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场所 建设拟建铅房及周边环境 X-γ 辐射剂量率水平为 0.10～0.11μSv/h。由《新疆维吾尔 自治区环境天然放射性水平调查报告》可知，项目存放地的 γ 辐射水平属于当地辐 射本底水平。 2、工作人员及公众有效剂量评价 根据表 11 类比分析和理论估算，本项目在晶片级器件辐照及辐射效应参数提 取设备（MXR-165 型 X 射线机）射线出束状态下，铅房操作位及铅房各方向表面 30cm 处 X-γ 辐射本底水平属于当地本底水平，不会对职业人员及公众人员造成附 加照射。项目正常运行时，周围环境中辐射工作人员和公众人员所受辐射年有效剂 量均低于本评价提出的 5.0mSv/a 和 0.1mSv/a 的年管理剂量约束值。符合《电离辐 射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）中关于“剂量限值”的要求。 4.1.4 辐射安全与防护分析结论 1、辐射防护安全措施评价 设置门－机联锁装置；铅房外设有显示“预备”和“照射”状态的指示灯和声音提 示装置；照射状态指示装置应与本项目辐照装置联锁；铅房外醒目位置处有清晰的 对“预备”和“照射”信号意义的说明；通风装置排风管道外口避免朝向人员活动密集 区，每小时有效通风换气次数不小于 3 次；对工作场所实行分区管理，铅房内划为 控制区，铅房所在的 F101 室划为监督区；操作台须设有紧急停机开关。落实以上 措施后，该项目辐射安全措施满足《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》 （环境保护部第 3 号令）及《工业 X 射线探伤放射防护要求》（GBZ117-2015）的 有关要求。 — 15 — 2、操作安全措施评价 工作人员进入铅房所在房间时应佩戴常规个人剂量计及配备个人剂量报警仪； 定期测量探伤室外周围区域的辐射水平或环境的周围剂量当量率；工作人员交接班 或当班使用剂量仪前，检查剂量仪是否正常工作；工作人员须在每一次照射前确认 铅房所在房间内没有人员驻留并关闭房间门；工作人员每次开始工作前须对安全性 进行检查；工作人员定期进行电气安全、所有的联锁和紧急停机开关等项目的检 查；每年至少进行一次维护。落实以上措施后，该项目辐射安全措施满足《放射性 同位素与射线装置安全许可管理办法》（环境保护部第 3 号令）及《工业 X 射线探 伤放射防护要求》（GBZ117-2015）的有关要求。 3、辐射安全管理评价 新疆理化所按照《放射性同位素与射线装置安全和防护条例》（国务院令第 449 号）等相关规定，已成立了辐射防护管理领导小组，并且按管理要求制定了相 应的安全管理措施和规章制度。 本项目的辐射工作人员配备有个人剂量计，环评要求新疆理化所拟委托个人剂 量监测资质单位长期对本项目放射工作人员进行个人剂量监测，要求单位安排辐射 工作人员到具有相应资质的单位定期进行职业健康检查。未取得辐射安全与防护合 格证的人员按要求积极组织人员参加国家核技术利用辐射安全与防护培训平台举办 的各项辐射安全和防护专业知识培训，并且严格落实《辐射工作人员培训制度》。 新疆理化所在严格执行相关法律法规、标准规范等文件，严格落实各项辐射安 全管理、防护措施的前提下，其从事辐射活动的技术能力基本符合相应法律法规的 要求。 综上所述，新疆理化所在落实本报告提出的各项污染防治措施和管理措施后， 本项目将具有与其所从事的辐射活动相适应的技术能力和具备相应的辐射安全防护 措施，其运行对周围环境产生的影响能够符合辐射环境保护的要求，从辐射环境保 护的角度论证，该项目的建设和运行是可行的。 4.1.5 建议 1、认真学习国家环保法规政策，提高安全文化素养，增强辐射防护意识；要 — 16 — 求工作人员严格执行各项安全管理规章制度和安全技术操作规程。 2、新疆理化所应结合工作实际情况制定辐射安全管理制度并不断完善。 3、未取得辐射安全与防护合格证的人员，按相关要求积极组织人员参加环境 保护部门组织的各项辐射安全和防护专业知识培训，并且严格落实《辐射工作人员 培训制度》。 4、取得本项目环评批复后，应尽快办理《辐射安全许可证》许可内容变更手 续。 5、取得辐射安全许可证投入试运行后，应立即组织本项目的竣工辐射环境验 收工作，验收合格后，方可投入使用。每年应对射线装置使用和防护状况进行年度 评估，并于每年 1 月 31 日前向发证机关提交上一年度的评估报告，年度评估报告 应当包括放射性同位素与射线装置台账、辐射安全和防护设施的运行与维护、辐射 安全和防护制度及措施的建立和落实、事故和应急以及档案管理等方面的内容。 6、本报告表系按新疆理化所提供的资料编制，今后如使用的晶片级器件辐照 及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）有较大变化，应另作相应的环 境影响评价，办理相应手续。 4.2 审批部门审批决定 乌鲁木齐市生态环境局于 2022 年 2 月 17 日以乌环评审〔2021〕35 号文件对本 项目进行了批复，批复内容如下： 关于中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备 工作场所环境影响报告表批复 中国科学院新疆理化技术研究所： 你单位报送的由乌鲁木齐众智安环工作咨询有限公司编制的《中国科学院新疆 理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场所环境影响报 告表》收悉，根据《中华人民共和国环境保护法》及国家、自治区环境保护管理之 规定，经审查，批复如下： 一、同意你单位投资 312 万元（环保投资 32 万元），在乌鲁木齐市高新区 （新市区）北京南路 40-1 号新疆理化所 3 号楼负一层 F101 室内新建一间铅房，地 — 17 — 理坐标为：东经 87°34′38″、北纬 43°52′31″。将原位于 3 号楼负一层 F104 房间的晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备（MXR-165 型 X 射线机）搬迁至 F101 室内新建铅房内，用于科研（辐照）工作。该项目通过 X 射线机对晶片级别 器件进行辐照探伤。 二、要求你单位在项目建设和运营过程中，严格履行环境保护“三同时”管理 制度，按照环境影响报告表中提出的环保措施，做好污染预防和控制工作： （一）建立辐射安全与环境保护管理机构，配备不少于 1 名大学本科以上学历 符合条件的技术人员专职从事辐射防护和环境保护管理工作。设立专门的辐射安全 与环境保护管理小组，建立健全射线装置操作规程、安全和防护保卫、设备检修維 护、人员培训、监测方案、安全检查等规章制度。 （二）设置门—机连锁装置；铅房门口和内部同时设有显示“预备”和“照 射”装置的指示灯和声音提示装置；设置通风装置；紧急停机开关；划定控制区和 监督区。 （三）配备相应的辐射监测仪器，定期对辐射工作场所和环境进行辐射水平监 测。建立设备维护与维修、装置改进、安全防护评估等工作的备查档案和文字记 录，以确保该项目的安全运行。 （四）辐射工作人员应当接受辐射安全培训。辐射管理负责人、设备操作人 员、设备维护及管理人员，应急人员、偶然受照人员等工作人员上岗前，必须接受 辐射安全和防护知识培训，经考核合格持证上岗，并定期接受再培训。 （五）作业时，辐射工作人员必须严格遵守国家有关辐射防护管理规定，佩带 辐射剂量报警仪和个人剂量计，定期进行体检，建立个人剂量档案和职业健康监护 档案。 （六）职业人员和公众所受附加照射剂量应符合《电离辐射防护与辐射源安全 基本标准》(GB18871-2002）的要求。本项目取 5mSv 为职业照射年有效剂量管理 值，取 0.1mSv 为公众人员年有效剂量管理值。 （七）本项目 X 射线探伤机在运行时除产生少量的臭氧和氮氧化物外，无其他 放射性废气产生。通风装置排风管道外口避免朝向人员活动密集区。 — 18 — （八）制定辐射事故应急预案，加强探伤室（库房）的安全管理，做好辐射事 故应急处理准备工作，防止发生各类事故。一旦发生事故，必须立即采取应急措 施，并按规定及时上报生态环境保护行政主管部门。 （九）项目建设完成后，申请取得辐射安全许可证，并按规定进行环境保护竣 工验收。验收合格后，该项目方可正式投入运行。 （十）每年应定期向生态环境行政主管部门提交安全和防护状况评估报告。 （十一）建设项目发生重大变动，须另行开展环境影响评价依法重新报批；环 境影响报告表自批准之日起超过五年，方决定开工建设，其环境影响报告表应报我 局重新审核。 （十二）你单位应在收到本批复后 20 个工作日内，将批准的《中国科学院新 疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场所环境影响 报告表》及批复文件送到乌鲁木齐市生态环境局高新区（新市区）分局，以下简称 “高新区（新市区）分局”。 三、委托高新区（新市区）分局对此项目进行日常监督检查，市生态环境保护 综合执法支队抽查。 （本页以下空白） — 19 — 表五 辐射安全管理及环境保护措施落实情况 5.1 辐射安全管理及环境保护措施 中国科学院新疆理化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工 作场所辐射安全管理和环境保护措施现场调查情况如下： 5.1.1 辐射安全与防护制度文件落实情况 （1）辐射安全与管理机构 新疆理化所 2022 年 3 月 31 日调整了辐射安全与环境保护管理工作机构。明确了 辐射安全与环境保护管理工作机构的职责范围，全面负责本项目的辐射安全与环境保 护管理工作。满足《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》（环保部令第 3 号） 中规定的：“使用 I 类、II 类、III 类放射源，使用 I 类、II 类射线装置的，应当 设有专门的辐射安全与环境保护管理机构，或者至少有 1 名具有本科以上学历的技术 人员专职负责辐射安全与环境保护管理工作。” （2）辐射安全管理制度 新疆理化所制定的辐射安全与防护制度有：《中科院新疆理化所辐射场所剂量检 测管理制度》、《中科院新疆理化所个人剂量监测制度》、《中科院新疆理化所放射 源与射线装置辐射事故应急预案》、《中科院新疆理化所辐射工作人员安全与健康管 理规定》、《中科院新疆理化所辐射装置设备管理维修制度》、《设备维护保养规 定》、《安全注意事项》、《设备安全管理规定》、《实验室设备使用管理规定》、 《非本岗位辐射人员进入辐照室管理办法》、《X 射线辐照装置操作规程》。 5.2 辐射工作场所安全防护措施落实情况 5.2.1 辐射工作场所的分区情况 为了便于加强管理，切实做好辐射安全防护工作，根据《电离辐射防护与辐射源 安全基本标准》（GB 18871-2002）和《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022） 的要求，将辐照工作场所实行分区管理。 本项目具体的辐射防护分区划分见表 5-1，辐射工作场所分区示意图见图 5-1。 表 5-1 本项目辐射工作场所分区一览表 辐射工作场所 控制区 监督区 人员通道、更衣室、风淋室、检修 晶片级器件辐照及辐射效 F101 X 光辐照测 通道、空压机房、净化空调机房、 应参数提取设备工作场所 试实验室 楼上会议室 — 20 — 电 梯 库房 人员通道 监控 C 净化空 调机房 F101 X光辐照测试实验室 更衣室 空压 机房 铅房 测 试 机 柜 风淋室 检修通道 控制区： 监督区： 图 5-1 辐射工作场所分区管理图 5.2.2 辐射防护设施情况 （1）X 光辐照测试实验室（F101 室）出入口处和铅房防护门上均设置电离辐射 警示标志； （2）铅房设置工作状态指示灯、声光报警装置、门机连锁装置； （3）铅房上方设置有清晰的“准备中”和“辐照中”信号灯； （4）铅房操作窗口旁、控制台处设置紧急停机按钮。 5.2.3 铅房屏蔽防护情况 本项目铅房长、宽、高为：1.9m*1.4m*2.2m，铅房防护板、防护门均为钢（ 2mm）-铅（8mm）-钢（2mm）夹层结构，方管焊接而成的框架。 5.2.4 通风 本项目 X 光辐照测试实验室（F101 室）长、宽、高为：9.8m*7.7m*3m，该 X 光 辐照测试实验室（F101 室）设计为 10 万级净化实验室，设置了新风系统，风量为 4500m3/h，根据计算，每小时换气次数可达 19 次以上，且排风管道外口设置在楼 顶，满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）中第 6.1.10 款：探伤室应设置 机械通风装置，排风管道外口避免朝向人员活动密集区。每小时有效通风换气次数应 不小于 3 次的要求。 — 21 — 5.3 辐射工作人员管理 （1）辐射工作人员培训：本项目共计 2 名辐射工作人员，辐射工作人员均参加 了辐射安全培训并取得合格证书，均做到了持证上岗。 （2）个人剂量监测：本项目辐射工作人员均已配备了个人剂量计。 （3）职业健康检查情况：本项辐射工作人员均于 2021 年 4 月参加了职业健康检 查，处理意见均为“可继续从事原放射工作”。 表 5-2 本项目辐射工作人员管理情况 序号 姓名 体检情况 1 荀明珠 2 于钢 辐射安全与防护知识培训 培训时间 证书编号 可继续从事原放射工作 2021 年 04 月 25 日 FS21XJ2300006 可继续从事原放射工作 2019.7.27-28 C1909031 5.4 项目环评批复要求与实际执行情况 （1）环境影响评价文件要求环境保护措施落实情况见下表 5-3。 表 5-3 环境影响评价文件要求环境保护措施落实情况 环境影响评价文件要求 辐射安全 管理机构 建立辐射安全与环境保护管理机 构，配备不少于 1 名大学本科以上 学历人员从事辐射防护和环境保护 管理工作。拟设立专门的辐射安全 与环境保护管理小组，并以文件形 式明确管理人员职责。 辐射安全和 防护措施 设置门－机联锁装置；铅房门口和 内部同时设有显示“预备”和“照 射”状态的指示灯和声音提示装 置；设置通风装置；紧急停机开 关；划定控制区和监督区。 人员配备 — 22 — 辐射安全管理人员和辐射工作人员 参加辐射安全与防护培训，考核合 格后上岗，至少配备 2 名工作人 员，本项目共 2 名工作人员。 辐射工作人员在上岗前佩戴个人剂 量计，并定期送检（两次监测的时 间间隔不应超过 3 个月），加强个 人剂量监测，建立个人剂量档案。 落实情况 新疆理化所建立了辐射安全与 环境保护管理工作机构。明确 了辐射安全与环境保护管理工 作机构的职责范围，全面负责 本项目的辐射安全与环境保护 管理工作。并设置 1 名专职辐 射防护负责人。 本项目铅房设置了门—机连 锁、声光报警等装置；有清晰 的“准备中”和“辐照中”信 号灯；铅房操作窗口旁、控制 台处设置紧急停机按钮；划定 控制区和监督区。 本项目配备了 2 名辐射工作人 员，均已取得辐射安全与防护 培训合格证书，持证上岗。 新疆理化所已为辐射工作人员 开展了个人剂量监测工作，辐 射工作人员佩戴了个人剂量 计。 监测仪器和 防护用品 辐射安全 管理制度 新疆理化所已组织辐射工作人 辐射工作人员定期进行职业健康体 员进行了职业健康体检，并建 检（不少于 1 次/ 年），并建立放 立了放射工作人员职业健康档 射工作人员职业健康档案。 案。 本项目配备了辐射巡测仪 1 配备辐射巡测仪 1 台。 台。 本项目配备了个人剂量报警仪 配备个人剂量报警仪 2 台。 1 台。 配备铅衣 1 套。 本项目配备了铅衣 1 套。 制定操作规程、岗位职责、辐射防 护和安全保卫制度、设备检修维护 制度、人员培训计划、监测方案、 辐射事故应急措施等制度：根据环 评要求，按照项目的实际情况，补 充相关内容，建立完善、内容全 面、具有可操作性的辐射安全规章 制度。 新疆理化所制定了辐射安全与 防护制度：《中科院新疆理化 所辐射场所剂量检测管理制 度》、《中科院新疆理化所个 人剂量监测制度》、《中科院 新疆理化所放射源与射线装置 辐射事故应急预案》、《中科 院新疆理化所辐射工作人员安 全与健康管理规定》、《中科 院新疆理化所辐射装置设备管 理维修制度》、《设备维护保 养规定》、《安全注意事 项》、《设备安全管理规 定》、《实验室设备使用管理 规定》、《非本岗位辐射人员 进入辐照室管理办法》、《X 射线辐照装置操作规程》。 （2）项目环评批复要求与实际执行情况见表 5-4。 表 5-4 环评批复要求与执行情况对照一览表 环评批复要求 落实情况 （一）建立辐射安全与环境保护管理机 新疆理化所建立了辐射安全与环境保护 构，配备不少于 1 名大学本科以上学历符 管理工作机构。明确了辐射安全与环境 合条件的技术人员专职从事辐射防护和环 保护管理工作机构的职责范围，全面负 境保护管理工作。设立专门的辐射安全与 责本项目的辐射安全与环境保护管理工 环境保护管理小组，建立健全射线装置操 作。并设置 1 名专职辐射防护负责人。 作规程、安全和防护保卫、设备检修維 制定了辐射安全和防护规章制度。 护、人员培训、监测方案、安全检查等规 章制度。 （二）设置门—机连锁装置；铅房门口和 本项目铅房设置了门—机连锁装置；铅 — 23 — 内部同时设有显示“预备”和“照射”装置的 房上方设有显示“准备中”和“辐照 指示灯和声音提示装置；设置通风装置； 中”的装置指示灯；铅房操作窗口旁、 紧急停机开关；划定控制区和监督区。 控制台处设置紧急停机按钮；对工作场 所实行分区管理，将 F101 室内部区域 划为控制区，与墙壁外部相邻区域划为 监督区。 （三）配备相应的辐射监测仪器，定期对 本项目配备了 1 台 X、γ 辐射空气比释 辐射工作场所和环境进行辐射水平监测。 动能（吸收剂量）率仪。制定了辐射防 建立设备维护与维修、装置改进、安全防 护监测方案，设置了《中科院新疆理化 护评佔等工作的备查档案和文宇记录，以 所辐射装置设备管理维修制度》、安全 确保该项目的安全运行。 防护评估等工作的备查档案和文字记 录，以确保该项目的安全运行。 （四）辐射工作人员应当接受辐射安全培 本项目从事辐射工作人员的 2 名均通过 训，辐射管理负责人、设备操作人员、设 了辐射安全和防护知识及相关法律法规 备维护及管理人员，应急人员、偶然受照 培训和考核，持证上岗，并定期接受再 人员等工作人员上岗前，必须接受辐射安 培训。 全和防护知识培训，经考核合格持证上 岗，并定期接受再培训。 （五）作业时，辐射工作人员必须严格遵 新疆理化所为本项目配备了 1 台个人剂 于国家有关辐射防护管理规定，佩带辐射 量报警仪，委托具有相应资质的单位对 剂量报警仪和个人剂量计，定期进行体 本项目 2 名辐射工作人员进行个人剂量 检，建立个人剂量档案和职业健康监护档 监测，定期组织辐射工作人员进行职业 案。 健康体检，并建立了辐射工作人员个人 剂量档案和职业健康监护档案。 （六）职业人员和公众所受附加照射剂量 由验收监测结果及个人剂量监测结果可 应符合《电离辐射防护与辐射源安全基本 知，本项目能满足该剂量管理目标值。 标准》(GB18871-2002）的要求。本项目 取 5mSv 为职业照射年有效剂量管理值， 取 0.1mSv 为公众人员年有效剂量管理 值。 （七）本项目 X 射线探伤机在运行时除 本项目依托 F101 室十万级净化实验室 产生少量的臭氧和氮氧化物外，无其他放 通风系统（风量 4500m3/h），有害气 射性废气产生。通风装置排风管道外口避 体能及时排出。 免朝向人员活动密集区。 — 24 — （八）制定辐射事故应急预案，加强探伤 新疆理化所制定了《辐射事故应急预 室（库房）的安全管理，做好辐射事故应 案》，成立了辐射事故应急处理小组， 急处理准备工作，防止发生各类事故。一 针对可能发生的事故制定了应急处理措 旦发生事故，必须立即采取应急措施，并 施、事故报告程序、相关单位联络方式 按规定及时上报生态环境保护行政主管部 等相关内容。 门。 （九）项目建设完成后，申请取得辐射安 项目建设完成后，申请取得了由生态环 全许可证，并按规定进行环境保护竣工验 境部颁发的《辐射安全许可证》，该设 收。验收合格后，该项目方可正式投入运 备已许可。 行。 （十）每年应定期向生态环境行政主管部 新疆理化所建立了辐射安全与环境保护 门提交安全和防护状况评估报告。 管理工作机构，明确了职责分工，每年 1 月 31 日前向生态环境行政主管部门 提交《辐射安全和防护状况年度评 估》。 （十一）建设项目发生重大变动，须另行 本项目未发生重大变动。 开展环境影响评价依法重新报批；环境影 响报告表自批准之日起超过五年，方决定 开工建设，其环境影响报告表应报我局重 新审核。 （十二）你单位应在收到本批复后 20 个 新疆理化所取得批复后已将《中国科学 工作日内，将批准的《中国科学院新疆理 院新疆理化技术研究所新建晶片级器件 化技术研究所新建晶片级器件辐照及辐射 辐照及辐射效应参数提取设备工作场所 效应参数提取设备工作场所环境影响报告 环境影响报告表》及批复文件送达乌鲁 表》及批复文件送到乌鲁木齐市生态环境 木齐市生态环境局高新区（新市区）分 局高新区（新市区）分局，以下简称“高 局。 新区（新市区）分局”。 （本页以下空白） — 25 — 表六 验收监测质量保证及质量控制 6.1 监测仪器 本次测量所用的仪器性能参数均符合国家标准方法的要求，均有有效的国家计量 部门检定的合格证书，并有良好的日常质量控制程序。监测人员均经培训，考核合格 持证上岗。数据分析及处理采用国家标准中相关的数据处理方法，按国家标准和监测 技术规范有关要求进行数据处理和填报，并按有关规定和要求进行三级审核。本次验 收监测所使用的仪器情况见表 6-1。 表 6-1 监测仪器参数 仪器型号及名称 ATOMTEX AT1121 型辐射检测仪 仪器编号 45934 检定证书编号 DLjl2022-05911 检定有效期 2022.06.27-2023.06.26 6.2 质量保障措施 ①合理布设监测点位，保证各监测点位布设的科学性和可比性； ②监测方法采用国家有关部门颁布的标准，监测人员经考核并持证上岗； ③检测所用仪器经计量检定部门检定合格，且在有效检定周期内。检测仪器参加 实验室间的比对，通过仪器的期间核查等质控手段保证仪器设备的正常运行，现场检 测仪器每次测量前、后均检查仪器的工作状态是否正常； ④检测实行全过程的质量控制，严格按照单位《质量手册》、《作业指导书》及 仪器作业指导书的有关规定实行； ⑤由专业人员按操作规程操作仪器，并做好记录。检测时获取足够的数据量，以 保证检测结果的统计学精度。检测中异常数据以及检测结果的数据处理按照统计学原 则处理； ⑥监测报告严格实行三级审核制度，经过校对、校核，最后由技术负责人审定； ⑦建立完整的文件资料。仪器校准（测试）证书、检测方案、检测布点图、测量 原始数据、统计处理程序等全部保留，以备复查。 （本页以下空白） — 26 — 表七 验收监测内容 7.1 监测内容及监测频次 检测单位 新疆智检汇安环保科技有限公司 检测内容 X、γ周围剂量当量率 检测频次 在正常工况下，每个点位测五次，取平均值 7.2 监测方法 《辐射环境监测技术规范》HJ61-2021 监测规范 《工业 X 射线探伤放射防护要求》GBZ117-2015 7.3 监测布点 按照《辐射环境监测技术规范》HJ61-2021 和《工业 X 射线探伤放射防护要 求》GBZ117-2015 的要求，对 MXR-165 型晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设 备运行前、正常工作时铅房四周屏蔽体、门缝四周进行巡测。监测布点示意图见图 7-1、图 7-2。 过道 监控 C 净化空调 机房 F101室 1 操作台 5 空压机房 2 铅房 4 更衣室 3 测 试 机 柜 风淋室 检修通道 图 7-1 关机状态下监测布点示意图 — 27 — 过道 28 29 30 监控 C 31 24 25 27 净化空调 机房 F101室 32 36,37 1 操作台 21 13 20 空压机房 15 铅房 22 23 19 33 2-6 14 8-12 18 检修通道 16 7 测 17 试 更衣室 26 机 柜 34 图 7-2 开机状态下监测布点示意图 （本页以下空白） — 28 — 风淋室 35 表八 验收监测结果 8.1 验收监测工况 验收监测时，验收工作场所和装置正常工作、运行稳定。本次验收监测工况见 表 8-1。 监测时间：2023 年 1 月 6 日 监测地点：中国科学院新疆理化技术研究所 3 号楼负一层 X 光辐照测试实验室 （F101 室） 表 8-1 监测工况表 设备名称 设备型号 晶片级器件辐照及辐 射效应参数提取设备 MXR-165 设备参数 160kV、50mA 检测条件 安装位置 140kV、 40mA 3 号楼负一层 X 光辐照测试 实验室（F101 室）铅房内 8.2 监测结果 8.2.1 工作场所监测结果 关机状态下监测结果见表 8-1，开机状态下监测结果见表 8-2。 表 8-2 关机状态下监测结果一览表 序号 测点位置描述 检测结果（μSv/h） 备注 1 操作位 0.13 无 2 距铅房北侧操作窗口外表 30cm 处 0.13 无 3 距铅房东侧外表 30cm 处 0.13 无 4 距铅房南侧检修门外表 30cm 处 0.13 无 5 距铅房西侧外表 30cm 处 0.13 无 检测结果（μSv/h） 备注 表 8-3 开机状态下监测结果一览表 序号 测点位置描述 1 操作位 0.13 无 2 距铅房北侧操作窗口外表 30cm 处（中侧） 0.13 无 3 距铅房北侧操作窗口外表 30cm 处（上侧） 0.13 无 — 29 — 4 距铅房北侧操作窗口外表 30cm 处（下侧） 0.13 无 5 距铅房北侧操作窗口外表 30cm 处（左侧） 0.13 无 6 距铅房北侧操作窗口外表 30cm 处（右侧） 0.13 无 7 距铅房东侧穿线口外表 30cm 处 0.15 无 8 距铅房南侧检修门外表 30cm 处（中侧） 0.13 无 9 距铅房南侧检修门外表 30cm 处（上侧） 0.13 无 10 距铅房南侧检修门外表 30cm 处（下侧） 0.13 无 11 距铅房南侧检修门外表 30cm 处（左侧） 0.13 无 12 距铅房南侧检修门外表 30cm 处（右侧） 0.13 无 13 距铅房西侧配电箱外表 30cm 处 0.13 无 14 距铅房北侧外表 30cm 处 1 0.13 无 15 距铅房北侧外表 30cm 处 2 0.13 无 16 距铅房东侧外表 30cm 处 1 0.13 无 17 距铅房东侧外表 30cm 处 2 0.13 无 18 距铅房南侧外表 30cm 处 1 0.13 无 19 距铅房南侧外表 30cm 处 2 0.13 无 20 距铅房西侧外表 30cm 处 1 0.13 无 21 距铅房西侧外表 30cm 处 2 0.13 无 22 距铅房顶部外表 30cm 处 1 0.13 无 23 距铅房顶部外表 30cm 处 2 0.13 无 24 F101 室内测点 1 0.13 无 25 F101 室内测点 2 0.13 无 26 F101 室内测点 3 0.13 无 27 F101 室东侧测点 0.13 无 28 F101 室北侧过道测点 1 0.13 无 29 F101 室北侧过道测点 2 0.13 无 30 F101 室北侧过道测点 3 0.13 无 — 30 — 31 F101 室西侧空调机房测点 1 0.13 无 32 F101 室西侧空调机房测点 2 0.13 无 33 F101 室南侧检修通道测点 1 0.13 无 34 F101 室南侧检修通道测点 2 0.13 无 35 F101 室南侧检修通道测点 3 0.13 无 36 F101 室楼上会议室测点 1 0.13 无 37 F101 室楼上会议室测点 2 0.13 无 注：测量结果未扣除仪器宇宙射线响应值 8.2.2 检测结果分析 由检测结果可知：关机状态下晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备工作场 所周围剂量当量率为：0.13μSv/h；开机状态下晶片级器件辐照及辐射效应参数提取 设备工作场所周围剂量当量率为：0.13μSv/h~0.15μSv/h；结果满足《工业探伤放射 防护标准》（GBZ117-2022）中“6.1.3 探伤室墙体和门的辐射屏蔽应同时满足：b ）屏蔽体外30cm处周围剂量当量率参考控制水平应不大于2.5μSv/h。”的要求。 8.2.3 个人剂量检查情况 根据新疆理化所提供的最近 4 个季度（2021 年 9 月 22 日~2022 年 9 月 16 日） 个人剂量监测结果可知，从事本项目操作的 2 名辐射工作人员年有效剂量最大值为 0.125mSv/a，该年有效剂量低于《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB1887 1-2002）辐射工作人员年剂量管理约束值 5mSv 的要求。 表 8-4 个人剂量监测结果 监测结果 序 号 姓名 1 2 2021-09-22~ 2021-12-20 2021-12-21~ 2022-03-20 2022-03-21~ 2022-06-18 2022-06-19~ 2022-09-16 年有效剂量估 算值 荀明珠 0.03 0.01